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2020-12-03
燃?xì)夤艿?氣體管道工程：高純氣體輸送系統(tǒng)整體解決方案
高純氣配管技術(shù)是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，是能否將合符要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵技術(shù);所謂高純氣配管技術(shù)包括系統(tǒng)的正確設(shè)計、管件及附件的選擇、施工安裝和
試驗測試等內(nèi)容。氣體管道工程，主要產(chǎn)品有于減壓閥，卡套接頭，閥門管件，管道系統(tǒng)安裝、球閥針閥、VCR接頭、焊接接頭、阻火器、過濾器、氣體管道系統(tǒng)、高純管道系統(tǒng)、不銹鋼潔凈管等產(chǎn)品?！ ∪绾伪苊廨斔瓦^程中系統(tǒng)對高純氣體的二次污染便成為超高純氣體輸送系統(tǒng)的首要考量。另外，泛半導(dǎo)體行業(yè)所使用的各類特殊氣體通常具有易燃、易爆、劇毒、腐蝕、窒息等各種危險特性。同時，由于泛半導(dǎo)體行業(yè)工藝復(fù)雜先進(jìn)，對超高純氣體的質(zhì)量保障和系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行提出了嚴(yán)苛的要求。
因此，在高純氣體輸送系統(tǒng)的設(shè)計、安裝和運(yùn)行過程中需要充分考慮潔凈度、安全性、穩(wěn)定性等關(guān)鍵因素。超高純氣體輸送系統(tǒng)在系統(tǒng)開機(jī)調(diào)試之前必須通過保壓測試、氦檢漏測試、水分增量測試、氧分增量測試、顆粒度增量測試來保證系統(tǒng)的高潔凈度和高安全度。
高純氣體輸送系統(tǒng)整體解決方案包括:
?、?大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng);
?、?特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng);
③ 純化器系統(tǒng);
?、?在線氣體品質(zhì)監(jiān)控系統(tǒng);
?、?氣體泄露偵測系統(tǒng);
?、?氣體設(shè)備運(yùn)行管理系統(tǒng);
?、?尾氣處理系統(tǒng);
?、?氣體供應(yīng)管路系統(tǒng)和二次配工程;
深圳市蓋斯帕克有限公司專業(yè)致力于高純度/特氣供氣系統(tǒng)、各種實驗室/研究所供氣系統(tǒng)、氣體管道工程、大型工廠集中供氣系統(tǒng)的設(shè)計、安裝、調(diào)試與維護(hù)。
