供氣系統(tǒng)安裝 供氣系統(tǒng)種類及適用場(chǎng)合講解！

　　供氣系統(tǒng)有哪些，不同行業(yè)需要安裝什么供氣系統(tǒng)？集中供氣系統(tǒng)主要有簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)，常規(guī)供氣系統(tǒng)和大宗供氣系統(tǒng)，下面來(lái)看看。

　　1.簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)

　　簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)主要針對(duì)4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一-些單臺(tái)的工藝設(shè)備等。它們的制程簡(jiǎn)單,通常不需要連續(xù)性供氣,對(duì)氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。

　　由于氣體流量小，不經(jīng)常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶(<50L)。輸送系統(tǒng)多采用半自動(dòng)氣瓶柜或氣瓶架加簡(jiǎn)單的控制面板;配置繼電器控制,自動(dòng)切換,手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空,有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采

　　用全手動(dòng)系統(tǒng)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道,或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

　　2.常規(guī)供氣系統(tǒng)

　　常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸大規(guī)模集成電路廠,50MW以下的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線,發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對(duì)氣體純度控制的要求不苛刻,系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡(jiǎn)單,節(jié)省投資。

　　特種氣體采用普通鋼瓶(<50L)供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換,自動(dòng)氮?dú)獯祾撸詣?dòng)真空輔助放空;多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測(cè),遠(yuǎn)程緊急切斷;專用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊?。VMB采用支路氣動(dòng)閥,氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空。惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架，繼電器控制，自動(dòng)切換,手動(dòng)吹掃,手動(dòng)放空;VMB主管氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空。氣體房和抽風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進(jìn)行分類。

　　3.大宗特氣供氣系統(tǒng)

　　大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、C2F6、NH3等)，100MW以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(氣體種類包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣

　　體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3)等、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(氣體種類包括HCL)等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大,采用最先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出最嚴(yán)格的要求。

　　這些工廠的特種氣體的供給，除了普通鋼瓶(50L及以下)包裝的特種氣體外,還有多種類的特種氣體都普遍采用大包裝容器,由此它們被稱為大宗特氣，包括Y-鋼瓶(450L),T-鋼瓶(980L)，集裝格(940L),ISO罐(22,500L),魚雷車(13,400L)等。

　　大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)(BSGS)采用全自動(dòng)PLC控制器,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氨氮?dú)獯祾?，自?dòng)真空輔助放空;多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測(cè)，遠(yuǎn)程緊急切斷;專用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取Ｌ胤N氣體采用獨(dú)立氣源，多用點(diǎn)采用VMB或VMP分路供應(yīng)，VMB或VMP采用支路氣動(dòng)閥,氮?dú)獯祾?真空輔助排空等。由于BSGS氣源總量大，多采用獨(dú)立的氣體房,獨(dú)立的抽風(fēng)系統(tǒng)

　　供氣系統(tǒng)安裝不能盲目進(jìn)行，選擇適合自己的供氣方式才能好用又省錢。