供氣系統(tǒng)安裝 供氣系統(tǒng)種類及適用場合講解！

　　供氣系統(tǒng)有哪些，不同行業(yè)需要安裝什么供氣系統(tǒng)？集中供氣系統(tǒng)主要有簡單供氣系統(tǒng)，常規(guī)供氣系統(tǒng)和大宗供氣系統(tǒng)，下面來看看。

　　1.簡單供氣系統(tǒng)

　　簡單供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構以及一-些單臺的工藝設備等。它們的制程簡單,通常不需要連續(xù)性供氣,對氣體供應系統(tǒng)的投資預算低。

　　由于氣體流量小，不經(jīng)常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶(<50L)。輸送系統(tǒng)多采用半自動氣瓶柜或氣瓶架加簡單的控制面板;配置繼電器控制,自動切換,手動吹掃，手動放空,有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采

　　用全手動系統(tǒng)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時放在回風夾道,或直接放在工藝制造設備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險氣體一般共用一個抽風系統(tǒng)。簡單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

　　2.常規(guī)供氣系統(tǒng)

　　常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應用于4-6英寸大規(guī)模集成電路廠,50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線,發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對氣體純度控制的要求不苛刻,系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡單,節(jié)省投資。

　　特種氣體采用普通鋼瓶(<50L)供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動PLC控制器,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器,可實現(xiàn)自動切換,自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空;多重安全防護措施，泄漏偵測,遠程緊急切斷;專用氮氣吹掃起源等等。VMB采用支路氣動閥,氮氣吹掃，真空輔助排空。惰性氣體多采用半自動氣瓶架，繼電器控制，自動切換,手動吹掃,手動放空;VMB主管氣動閥，氮氣吹掃;支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空。氣體房和抽風系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進行分類。

　　3.大宗特氣供氣系統(tǒng)

　　大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、C2F6、NH3等)，100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線(氣體種類包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣

　　體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3)等、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(氣體種類包括HCL)等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大,采用最先進的工藝制程設備，用氣需求量大，對穩(wěn)定和不間斷供應、純度控制和安全生產(chǎn)提出最嚴格的要求。

　　這些工廠的特種氣體的供給，除了普通鋼瓶(50L及以下)包裝的特種氣體外,還有多種類的特種氣體都普遍采用大包裝容器,由此它們被稱為大宗特氣，包括Y-鋼瓶(450L),T-鋼瓶(980L)，集裝格(940L),ISO罐(22,500L),魚雷車(13,400L)等。

　　大宗特氣供應系統(tǒng)(BSGS)采用全自動PLC控制器,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現(xiàn)自動切換，自動氨氮氣吹掃，自動真空輔助放空;多重安全防護措施，泄漏偵測，遠程緊急切斷;專用氮氣吹掃起源等等。特種氣體采用獨立氣源，多用點采用VMB或VMP分路供應，VMB或VMP采用支路氣動閥,氮氣吹掃,真空輔助排空等。由于BSGS氣源總量大，多采用獨立的氣體房,獨立的抽風系統(tǒng)

　　供氣系統(tǒng)安裝不能盲目進行，選擇適合自己的供氣方式才能好用又省錢。