半導(dǎo)體工廠大宗氣體輸送管道系統(tǒng)設(shè)計要點有哪些

　　半導(dǎo)體工廠大宗氣體輸送管道系統(tǒng)的設(shè)計

　　1、經(jīng)純化后的大宗氣體由氣體純化間送至輔助生產(chǎn)層或生產(chǎn)車間的架空地板下，在這里形成配管網(wǎng)絡(luò)，再由二次配管系統(tǒng)送至各用戶點。

　　2、配管系統(tǒng)的基本設(shè)計原則是在主管上按一定間距設(shè)置支管端，再在每個支管上按一定間距設(shè)置分支管供二次配管使用。另外，主管的管徑不必隨流量的遞減而采取漸縮設(shè)計.這種配管系統(tǒng)的確具有充分的靈活性，但由于超高純氣體管路的管件和閥件價格昂貴，該系統(tǒng)的成本之高也是顯而易見的。

　　3、通常，集成電路芯片廠的建設(shè)往往會分成若干個階段，一方面可以緩解一次性投資的巨大資金壓力，另一方面也可以根據(jù)市場狀況作出相應(yīng)的調(diào)整決策。在新廠建設(shè)的第一階段，設(shè)計產(chǎn)量往往不是很高，用氣點也不是很多，尤其是氫、氨、氧、氦的用氣點就更少。因此必須考慮如何來簡化該配管系統(tǒng)以降低成本。

　　大宗氣體輸送系統(tǒng)其它設(shè)計要點

　　在設(shè)計中還應(yīng)遵循國內(nèi)其他相關(guān)規(guī)范，如 《 潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 》 ( (氫氧站設(shè)計規(guī)范 》 、 《 供氫站設(shè)計規(guī)范 》 等，其中主要的設(shè)計要點有：

　　1、在主管末端要設(shè)計氣體取樣口，對于氫氣和氧氣，還需在主管末端設(shè)置放散管。放散管引至室外，應(yīng)高出屋脊 1 米，并應(yīng)有防雨、放雜物侵入的措施二

　　2、氫氣、氧氣管道間距問題：

　　3、氧氣管道及其閥門、附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格脫脂處理，并應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施;

　　4、氫氣管道接至用氣設(shè)備的支管和放散管，應(yīng)設(shè)阻火器;引至室外的放散管，應(yīng)設(shè)置防雷保護設(shè)施;應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。

　　大宗氣體系統(tǒng)的設(shè)計是整個半導(dǎo)體工廠設(shè)計中的一個重要部分，雖然整個系統(tǒng)的流程并不復(fù)雜，但是其中任一環(huán)節(jié)的疏忽都可能會導(dǎo)致嚴(yán)重的后果。在設(shè)計中，必須在供氣穩(wěn)定、連續(xù)不中斷的前提下，嚴(yán)格證氣體的品質(zhì)，從而保障整個工廠生產(chǎn)的順利進行。