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　　CVD設(shè)備的scrubber的功能原理及其安裝位置

　　CVD設(shè)備scrubber的功能

　　CVD設(shè)備scrubber基本上是專門為CVD設(shè)備尾氣處理設(shè)計(jì)的裝置。CVD尾氣通常含有大量顆粒和難以處理的未反應(yīng)、爆炸性、易燃性或毒性氣體廢氣。scrubber是一種專門為減少后端處理的麻煩和安全性而設(shè)計(jì)的裝置?？墒褂镁植縮crubber專用CVD設(shè)備單臺(tái)或多臺(tái)，

　　scrubber設(shè)備廢氣處理方式(處理廢氣原理)

　　scrubber設(shè)備處理廢氣主要通過燃燒型、加熱型、等離子型，水洗等流程，根據(jù)情況不同選用的處理方式也不同。

　　scrubber根據(jù)不同的工藝產(chǎn)生不同的尾氣;選擇不同的處理方法!

　　1、scrubber該設(shè)備包括電加熱型、氣體型、吸附型和等離子體型。吸附型需要更換吸附桶，使用起來相對(duì)昂貴，但維護(hù)起來最方便。

　　2、通常，可以加熱水洗型，并且可以使用水洗加熱再水洗型。SiH4在燃燒后與SIO2反應(yīng)。NH3與水反應(yīng)生成晶體。NF3、WF3、SIF4、C2F6的離子鍵在燃燒后會(huì)打開，與水反應(yīng)生成氟化氫。

　　scrubber設(shè)備的安裝位置

　　scrubber設(shè)備通常安裝在設(shè)備真空泵和廢氣排放總管之間。有毒有害廢氣由真空泵抽至scrubber設(shè)備進(jìn)行處理，然后排放出去。