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氣體管道工程氣體存放及輸送系統(tǒng)調(diào)試
2019-03-16
氣體管道工程氣體存放及輸送系統(tǒng)介紹
氣體管道工程是輸送氣體的一種工程，本文主要介紹下氣體管道工程組成及氣體種類，不同種類的氣體該如何存放，氣體輸送系統(tǒng)調(diào)試及檢驗(yàn)方法都會(huì)提到。
氣體管道工程的組成件有哪些?
1、氣體管道組成件(管子、閥門、管件、法蘭、補(bǔ)償器、密封墊片、緊固件、膨脹接頭、撓性接頭、耐壓接頭、耐壓軟管、疏水器、過濾器、分離器等)、
2、管道支承件包括安裝件(吊桿、彈簧吊架、斜拉桿、平衡錘、松緊螺栓、支撐桿、鏈條、導(dǎo)軌和錨固件以及負(fù)荷式固定件，如鞍座、底座、滾柱、托架和滑動(dòng)支座)和附著件(管吊、吊耳、卡環(huán)、管夾、U 形夾、緊固夾板和裙式管座)，
3、管道的焊接材料(焊條、焊絲、焊劑、保護(hù)氣體)等應(yīng)按管道系統(tǒng)配套按工期要求供貨，滿足施工進(jìn)度。
4、其他材料如玻璃鋼、橡膠、塑料、油漆、隔熱(保熱或保冷)材料、防水材料、防腐材料等，能保證按工期要求供貨。
行業(yè)氣體的分類
普通氣體，也稱大宗氣體 (Bulk gas )：氫氣(H2)、氮?dú)?N2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等
特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等
特種氣體存放及使用
針對(duì)腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設(shè)計(jì)將鋼瓶置于氣瓶柜(Gas Cabinet)內(nèi)，再透過管路將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場(chǎng)附近的閥箱(VMB, Valve Manifold Box)，而后再進(jìn)入制程機(jī)臺(tái)的使用點(diǎn)(POU, Point of Use)，于進(jìn)入機(jī)臺(tái)腔體之前，會(huì)有獨(dú)立的氣體控制盤(GB, Gas Box)與制程控制模塊聯(lián)機(jī)，以質(zhì)流控制器(MFC, Mass Flow Controller)進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制，通常此氣體控制盤不屬于廠務(wù)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)范疇，而是歸屬制程機(jī)臺(tái)設(shè)備的一部份。一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥盤(VMP, Valve Manifold Panel)進(jìn)行供應(yīng)。
氣體輸送系統(tǒng)調(diào)試、測(cè)試要求：
1、強(qiáng)度實(shí)驗(yàn):管內(nèi)沖人高純氮?dú)馐箟毫Φ竭_(dá)0.8MPa,保持此壓力如10min內(nèi)壓力不降為合格;
2、嚴(yán)密性實(shí)驗(yàn):管內(nèi)沖人高純氮?dú)馐箟毫Φ竭_(dá)0. 5MPa,保持此壓力如30min內(nèi)壓力不降為合格;
3、潔凈測(cè)試:管路中沖人純氮，關(guān)閉所有閥門,打開末端閥用一張白布放在管口一分鐘如白布上無(wú)雜質(zhì)和水分即為合格。
