大宗特氣系統(tǒng)(BSGS)設計

　　大宗特氣系統(tǒng)(BSGS)是電子工業(yè)控制氣體純度的新方法，在控制純度的同時也提高了供氣安全。大宗特氣系統(tǒng)(BSGS)設計有很多注意的地方，這里介紹一些。

　　引言：

　　隨著電子消費品的升級換代，產(chǎn)品制造尺寸越來越大，產(chǎn)品成品率和缺陷控制越來越嚴格，整個電子工業(yè)界對電子氣體氣源純度，以及杜絕輸送系統(tǒng)二次污染的要求越來越苛刻?；旧瞎I(yè)界對電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術(shù)指標，直接與分析儀器技術(shù)進步帶來的zui低檢測極限(LDL)相關(guān)聯(lián)。如傳統(tǒng)的激光顆粒測試儀可測到0.1微米，而核凝結(jié)技術(shù)(CNC)可達到0.01微米。由此帶來的影響便是大宗氣體的純度要求也越來越高，從氣源端直接控制是zui好的方法。

　　關(guān)鍵詞：

　　大宗氣體，儲存，系統(tǒng)設計

　　大宗特氣系統(tǒng)(BSGS)設計參考

　　1、應該設置獨立的氣(液)瓶、儲罐或長管拖車及其壓力指示或鋼瓶稱重裝置、鏈接回形管、氣流控制的氣體面板、吹掃氮氣單元、電氣控制柜等裝置;

　　2、大宗特種氣體系統(tǒng)的功能配備應該和特氣系統(tǒng)管路一致;

　　3、液態(tài)氣瓶的大宗特種氣體系統(tǒng)應設計鋼瓶加熱與保溫裝置;

　　4、大宗特種氣體應在減壓前對氣體進行預熱。

　　結(jié)語：

　　大宗特氣系統(tǒng)(BSGS)的應用受益于污染控制的進步。首先大包裝容器保證了氣體品格的連續(xù)性，降低了屢次充裝的污染風險，其次在氣站建設時候做好每個獨立單元模塊的功能架構(gòu)，使得大宗氣體也可以保持最高的純度。另外，液態(tài)氣體使用前的預熱、電子秤等的加入也是需要綜合考慮的因素。