影響高純氣體質(zhì)量的管道材料特性

　　高純度氣體管道中所有高純度、高潔凈的氣體均需通過(guò)管路輸送到儀器用點(diǎn)(POU)，為了達(dá)到儀器對(duì)氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標(biāo)一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。下面就來(lái)為大家進(jìn)行介紹。

　　對(duì)輸送高純氣體管道而言，其影響氣體質(zhì)量的管道材料主要特性是氣體滲透性、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。

　　1、氣體滲透性

　　不同材料對(duì)氧的滲透性材料大氣中氧氣的滲透(ppm)不銹鋼管O銅管O聚丙烯管1l聚四氟乙烯管12普通鋼管203從表看到，對(duì)于輸送ppm級(jí)及更高純度要求的氣體，從氣體滲透角度必須選用不銹鋼管或者鋼管，如果我們不恰當(dāng)?shù)剡x用了不符合要求的管道材料，那么，無(wú)論我們采取什么凈化手段，都將是無(wú)濟(jì)于事的。

　　2、出氣速率

　　材料冶煉過(guò)程形成的管道材料晶間或者晶格內(nèi)部存在著某些雜質(zhì)，如氮、碳?xì)浠衔锏?，在高純氣體輸送過(guò)程中，這些雜質(zhì)會(huì)緩慢地釋放出來(lái)，污染高純氣體，尤其是雜質(zhì)要求在ppb以上級(jí)的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。

　　3、吸附性

　　由于水分等雜質(zhì)是極性分子，吸附性很強(qiáng)。橡膠、塑料或一些表面粗糙的材料極易吸附水分等雜質(zhì)，銅材對(duì)水吸附性極強(qiáng)，使用這些材料輸送高純氣體易被污染，除了輸送ppm級(jí)以下的氧氣會(huì)使用紫銅管外，高純氣體都不采用銅管和塑料管，氣體會(huì)接觸到的墊片、填料也不得采用橡膠、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。

　　4、表面粗糙度和耐磨性

　　為了確保輸送的氣體純凈度，要求管道材料內(nèi)表面有一個(gè)極高的光潔度，這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留，可以在吹掃時(shí)比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨，可以在氣流高速?zèng)_刷下，產(chǎn)生的金屬粒子就少，不銹鋼比銅管產(chǎn)生粒子要少，所以不銹鋼管耐磨性優(yōu)于鋼管。

　　5、抗腐蝕性

　　微電子生產(chǎn)中，經(jīng)常使用一些腐蝕性很強(qiáng)的氣體，這時(shí)必須采用耐腐蝕的管材，否則管道會(huì)被腐蝕，輕則表面產(chǎn)生銹斑，重則管道大面積剝落、穿孔，不但污染氣體，還會(huì)發(fā)生安全事故。

　　氣體滲透性、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。就是影響高純氣體質(zhì)量的主要特性。